ナノテクノロジーへの道を拓くイオン工学ハンドブック : 薄膜合成・加工　他

ナノテクノロジーへの道を拓くイオン工学ハンドブック : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等

著者水野博之監修
平尾孝ほか編
出版社イオン工学研究所
刊行年平成15年5月発行
ページ数 1126頁
サイズ B5判
冊数 1冊
ISBN 4526053805

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カテゴリー:	本・雑誌・漫画>>>本>>>語学・辞書・学習参考書
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